Merev grafit filc

A Semixlab merev grafitfilcet (RGF) kritikus magas hőmérsékletű szigetelő és hőkezelő komponensként tervezték a SiC egykristályok fizikai gőzszállítási (PVT) növesztéséhez. A következő generációs 4H és 6H-SiC ostyák gyártásához tervezett merev filc ötvözi az ultra alacsony hővezető képességet, a magas szerkezeti integritást és a kivételes kémiai tisztaságot, így a nagy teljesítményű SiC szublimációs kemencék sarokköve. Alkalmazása biztosítja a hőgradiensek pontos szabályozását, a stabil növekedési feltételeket és a megnövekedett kristályminőséget a hosszú távú gyártási ciklusok során.

A SiC PVT eljárás során az állandó és egyenletes hőtér fenntartása elengedhetetlen a hibamentes egykristályok eléréséhez. A grafit merev filc elsődleges kemenceszigetelésként szolgál, amely körülveszi a szublimációs olvasztótégelyt és a hőtér szerkezetét. Alacsony hővezető képessége csökkenti a nem kívánt hőveszteséget, fenntartva a célhőmérsékleti gradienst a SiC forrás és az oltókristály között. A radiális és axiális hőmérsékleti profilok szabályozásával az RGF minimalizálja az alapsíkbeli diszlokációk, a halmozási hibák és a mikrocsövek kialakulását, ami közvetlenül befolyásolja a kapott SiC ostyák szerkezeti integritását és elektronikus teljesítményét.

A hőszigetelő képességén túl a Semixlab grafitfilcének merev szerkezete mechanikai stabilitást biztosít 2000°C-ot meghaladó hőmérsékletű környezetben. A rugalmas vagy puha filcekkel ellentétben az RGF hosszan tartó hőciklusok alatt is megőrzi alakját, megakadályozva az összeomlást vagy deformációt, amely megzavarhatná a hőteret vagy veszélyeztethetné a kemence élettartamát. Kémiai inertsége minimális részecske-kibocsátást biztosít, és megakadályozza a SiC-rúd szennyeződését, ami kritikus fontosságú a nagy ellenállású szubsztrátok előállításánál teljesítményelektronikai és széles tiltott sávú eszközalkalmazásokhoz.

A nagy tisztaságú grafitikus szénből és fejlett tömörítési technikákkal gyártott Semixlab Graphite Rigid Felt egyenletes sűrűséget, kiváló méretstabilitást és hosszú távú tartósságot mutat. A hőteljesítmény és a mechanikai merevség kombinációja lehetővé teszi a félvezetőgyártók számára, hogy állandó növekedési ütemet, reprodukálható hőmérsékleti profilokat és csökkentett állásidőt érjenek el a PVT rendszerekben. A kemence hőhatékonyságának optimalizálásával az RGF hozzájárul az energiamegtakarításhoz, miközben javítja a lapka egyenletességét és hozamát.

A Semixlab merev grafitfilce biztosítja a kiváló minőségű SiC egykristályok növekedéséhez szükséges teljesítményt, tisztaságot és szerkezeti stabilitást, robusztus anyagmegoldást biztosítva a gyártók számára a következő generációs ostyagyártáshoz, meghosszabbított kemence-élettartamhoz és kiváló hőkezeléshez extrém magas hőmérsékletű környezetben.