CVD szilícium-karbid (SiC) bevonat

A CVD SiC bevonat alapvetően egy grafitra felvitt szilícium-karbid réteg, amelyet széles körben használnak epitaxiális szerszámokban, ahol mind a hőmérséklet, mind a tisztaság számít. A valódi gyártósorokon gyakran láthatjuk az AIXTRON, ASM/LPE, Veeco rendszereiben, valamint néhány AMAT-hoz kapcsolódó platformon. Ami hasznossá teszi, az nemcsak a hőmérséklet-tűrés, hanem az általános stabilitás hosszú futási ciklusok alatt is. Tipikus epitaxiális körülmények között – hidrogén, ammónia vagy akár klórozott gázok – a bevonat viszonylag stabil marad, és védi az alatta lévő grafitot. Ez segít a hőtér állandóbbá tételében, és csökkenti a részecskék megjelenésének esélyét a növekedés során.

A bevonatot legtöbbször olyan alkatrészekre viszik fel, mint a szuszceptorok, ostyahordozók, grafitgyűrűk vagy félhold alakú alkatrészek. Ezek mind közvetlenül részt vesznek az ostya melegítésében vagy pozicionálásában, így bármilyen kis instabilitás befolyásolhatja a hozamot. Emiatt a bevonatos alkatrészeket gyakran fogyóeszközként kezelik, amelyeknek több cikluson keresztül is megbízhatónak kell lenniük, különösen a 4-12 hüvelykes gyártás során.