Kvarc alkatrészek

A kvarc még mindig mindenhol jelen van a félvezető-feldolgozásban. Nem új, de megbízható, és a legtöbb gyártó ismeri a viselkedését. Amíg a tisztaságát szabályozzák, jól működik a diffúziós, oxidációs és tisztítási lépésekben.

Sok kvarc alkatrész kerül kemencerendszerekbe vagy PECVD szerszámokba. A fő elvárás a stabilitás – nem feltétlenül hosszú élettartam, de kiszámítható teljesítmény. Ez általában elég jó sok standard folyamathoz.

Természetesen a kvarcnak is megvannak a korlátai. Bizonyos körülmények között gyorsabban elkophat, különösen a SiC-hez képest. De mivel viszonylag könnyen beszerezhető és nem túl drága, az emberek még mindig elég sokat használják.