Szilícium alkatrészek

A szilícium alkatrészeket főként azért használják, mert illeszkednek a lapka anyagához. Már csak ez is hasznossá teszi őket, mivel csökkenti a nem kívánt eltérések kialakulásának esélyét a folyamatban. Gyakoriak maratási és leválasztási környezetben. A teljesítményük általában stabil, bár az élettartamuk jelentősen változhat attól függően, hogy mennyire zord a folyamat.

A jobb megmunkálásnak és felületkezelésnek köszönhetően ezek az alkatrészek az idők során fejlődtek. Ennek ellenére nem mindig a tartósság, hanem inkább a kompatibilitás és a folyamat konzisztenciája miatt választják őket.