EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Kvarc felső gyűrű
A 0200-02626 jelű kvarc felső gyűrű egy precíziósan gyártott félvezető kvarc alkatrész, amelyet plazmafeldolgozó kamrákban, például maratási és PVD rendszerekben való használatra terveztek. Nagy tisztaságú olvasztott kvarcból készült, ez a gyűrű kiváló ellenállást biztosít a plazma korrózióval, a hőfeszültséggel és a félvezetőgyártási környezetben gyakran előforduló kémiai reakciókkal szemben. Fogyóeszközként a 0200-02626 jelű kvarc felső gyűrű kritikus szerepet játszik a kamra tisztaságának fenntartásában, a hardver védelmében és a megbízható wafergyártás biztosításában. Várjuk megkeresését.
Leírás
A 0200-02626 jelű kvarc felső gyűrű egy nagy pontosságú kvarc alkatrész, amelyet félvezetőgyártó berendezésekben használnak. Plazma-intenzív környezetekben, például maratási és fizikai gőzfázisú leválasztási (PVD) kamrákban való működésre tervezték, és kritikus védő- és folyamatstabilizáló elemként funkcionál a kamrán belül.
A Semixlab kiváló minőségű félvezető alkatrészeket és precíziós kvarc komponenseket szállít, amelyeket a modern wafergyártó létesítmények szigorú követelményeinek megfelelően terveztek. A 0200-02626 kvarc felső gyűrű nagy tisztaságú olvasztott kvarcból készül, hogy kiváló hőstabilitást, plazmaállóságot és szennyeződés-szabályozást biztosítson.
Termék áttekintés
A 0200-02626 típusú kvarc felső gyűrűt jellemzően a félvezető feldolgozó kamra felső részébe szerelik be, a wafer feldolgozó területet körülvéve vagy azzal egy vonalban. Széles körben használják védő és áramlásstabilizáló alkatrészként plazmafeldolgozó rendszerekben.
Kulcsfontosságú termékinformációk
| Tétel | Leírás |
| termék név | Kvarc felső gyűrű |
| Gyári szám | 0200-02626 |
| Anyag | Nagy tisztaságú olvasztott kvarc |
| Alkatrész típusa | Félvezető berendezés alkatrész |
| Alkalmazás | Maratás / PVD / Plazma feldolgozó kamrák |
| Kategória | Kamravédelem és folyamatirányító komponens |
| Szállító | Semixlab |
A szigorú mérettűrésekkel és nagy anyagtisztasággal gyártott kvarc felső gyűrű segít fenntartani a stabil folyamatkörnyezetet és az állandó ostyahozamot.
Tipikus szerkezeti jellemzők
A 0200-02626 típusú kvarc felső gyűrűt olyan geometriával gyártják, amely optimalizált a félvezető-feldolgozó kamrákba való integrációhoz.
A tipikus tervezési jellemzők a következők:
● Precíziós belső átmérő (ID), a lapkafeldolgozási területtel összehangolva
● A külső átmérő (OD) a kamravédő pajzsokban vagy szerelvényekben való biztonságos rögzítéshez lett kialakítva
● Lépcsős vagy hornyolt profilok a jobb mechanikai stabilitás érdekében
● Opcionális gázáramlási nyílások vagy furatok a plazma és a gázelosztás elősegítéséhez
● Polírozott kvarcfelületek a részecskék képződésének minimalizálása érdekében
● Nagy pontosságú megmunkálás az egységes telepítés és ismételhetőség érdekében
Ezek a szerkezeti jellemzők segítenek biztosítani a megbízható működést nagyvákuumú és nagy plazmakoncentrációjú környezetben.
Alkalmazási területek
Funkció félvezető berendezésekben
A félvezető-feldolgozó rendszerekben a kvarc felső gyűrű számos alapvető szerepet játszik, amelyek közvetlenül befolyásolják a kamra teljesítményét és a lapka minőségét.
Plazma árnyékolás: A gyűrű védőgátként működik a plazma környezete és a kritikus kamraalkatrészek között, megakadályozva, hogy a plazma közvetlenül érintkezzen a fémes szerkezetekkel.
Kamravédelem: A kvarc felső gyűrűk áldozati alkatrészként szolgálnak, elnyelik a folyamat melléktermékeit, például a lerakódási maradványokat vagy a marási reakciókat. Ez segít megvédeni a drága kamrai hardvert a sérülésektől.
Folyamat stabilitás: A plazma régió alakításával és az ostya széle körüli állandó távolság fenntartásával a kvarcgyűrű hozzájárul a stabil plazma viselkedéshez és az ismételhető feldolgozási feltételekhez.
Él egyenletességének szabályozása: A megfelelően megtervezett kvarcgyűrűk segítenek szabályozni a gázáramlást és a plazma eloszlását, ami javítja az ostya élének egyenletességét és az általános folyamatteljesítményt.
Versenyelőny
Anyag és előnyök
A 0200-02626 számú kvarc felső gyűrű nagy tisztaságú olvasztott kvarcból (SiO₂) készül, amely anyag széles körben használatos félvezető berendezésekben, mivel kiemelkedő teljesítményt nyújt plazma- és magas hőmérsékleti körülmények között.
Főbb anyagelőnyök:
1. Kiváló plazmaállóság
Az olvasztott kvarc erős ellenállást mutat az ionbombázással és a plazmakorrózióval szemben, így ideális a zord félvezető-feldolgozási környezetekhez.
2. Rendkívül alacsony fémszennyezettség
A nagy tisztaságú kvarc rendkívül alacsony szintű fémes szennyeződéseket tartalmaz, ami segít megelőzni a részecskék képződését és a szennyeződést az ostyafeldolgozás során.
3. Kiváló hőstabilitás
A kvarc szerkezeti integritását a plazmakamrákban gyakran előforduló magas hőmérsékleteken is megőrzi.
4. Elektromos szigetelés
Nem vezetőképes anyagként a kvarc segít stabilizálni az elektromos mezőt a plazmakamrákban, hozzájárulva az egyenletes feldolgozási feltételekhez.
5. Kémiai tehetetlenség
A kvarc erős ellenállást mutat a félvezetőgyártásban használt reaktív gázokkal szemben.
Ezek a tulajdonságok teszik az olvasztott kvarcot előnyös anyaggá a kamravédő alkatrészekhez és a plazmának kitett alkatrészekhez.
Szolgáltatásaink
Semixlab termékbolt
