Nagy tisztaságú kvarc ostyahajó

A nagy tisztaságú kvarc ostyahajó szintetikus kvarchomokból készül ívolvasztásos eljárással, amely nagyon alacsony hőtágulási együtthatóval és kiváló hősokk-állósággal rendelkezik, így a gyors emelkedés és süllyedés során nincs deformáció vagy repedés veszélye. A felület precízen polírozott a részecskeszennyezés csökkentése érdekében, így alkalmas a félvezetőgyártás zord és tiszta környezetére. A termék támogatja az egyedi méreteket (hossz 100-500 mm, rések száma 2-24), és alkalmazkodik a különböző ostyaméretekhez (4"-12").

1. A maganyag jellemzői

Szintetikus kvarchomok ívolvasztásos folyamata

Ultra nagy tisztaságú kvarchomok (SiO₂ tisztaság ≥99.999%) felhasználásával amorf kvarcüveg szerkezetet ívolvasztásos technológiával alakítanak ki. Ez az eljárás kiküszöböli a szemcsehatár-hibákat, jelentősen javítja az anyag egyenletességét, és biztosítja, hogy a lapkatartók magas hőmérsékleten (≤1250 °C) is stabilak maradjanak.

Rendkívül alacsony hőtágulási együttható

A hőtágulási tényező akár 5.5×10^-7K^-1(20-300 °C), ami szinte semmilyen méretváltozást nem tesz lehetővé a gyors hőmérséklet-emelkedés és -csökkenés során (pl. 200 °C/perc félvezető eljárásokban), elkerülve a mikrorepedések vagy a hőfeszültség miatti deformáció kialakulását.

Hősokk-állóság optimalizálása

A gradiens hőkezelési eljárás révén a hősokk-tűrési hőmérsékletkülönbség elérheti az 1200 ℃ → szobahőmérsékletet több mint 100 cikluson keresztül repedés nélkül, megfelelve az ionbeültetés, a gyors hőkezelés és más folyamatok szigorú követelményeinek.

2. Precíziós megmunkálás és felületkezelés

Nanoméretű polírozási technológia

A felületi érdességet Ra≤0.2 μm értéken szabályozzák, és a kémiai mechanikai polírozást (CMP) plazmamaratással kombinálva hatékonyan csökkentik a részecskék adszorpcióját, a tisztaság pedig megfelel a SEMI F47 szabványnak (részecskeszám ≤10 /[e-mail védett]μm).

Algagátló bevonat (opcionális)

A szilícium-karbid vagy szilícium-nitrid felületi bevonat testreszabható a lapka érintkezőfelületének súrlódási együtthatójának csökkentése érdekében (μ≤0.05), csökkentve a karcolások és a fémion-migráció kockázatát.

Gyors részletek:

1. Egyéb nevek: kvarchajó, ostyatartó.

2. Alkalmazás: Félvezető ostya magas hőmérsékletű folyamatában történő hordozás és átvitel, diffúzióhoz, oxidációhoz és egyéb folyamatokhoz alkalmas.

3. Alapparaméterek: tisztaság ≥99.99%, maximális hőmérséklet-tűrés 1200 ℃, hőtágulási együttható 5.5 × 10^-7/℃.

1. Félvezető ostya feldolgozás (diffúziós kemence, oxidációs kemence).

2. Fotovoltaikus ipari szilícium ostya feldolgozás.

3. Laboratóriumi minőségű, magas hőmérsékletű kísérleti ostyacsapágy.

Iparágvezető tisztaságú, fémszennyeződés-tartalom <1 ppm.

Hosszú élettartam (≥500 magas hőmérsékleti ciklus).

Nem szabványos testreszabás támogatása, rövid szállítási ciklus.