EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Szilícium-karbid kerámia ostyahajó
| Származási hely: | Kína |
| Márkanév: | Semixlab |
| Modell száma: | TC-SIC-WB-2501 |
| Tanúsítványok: | ISO 9001 |
| Minimális rendelési mennyiség: | 1 egység |
| Ár: | Személyre szabott árajánlatért vegye fel a kapcsolatot |
| Csomagolás Részletek: | Antisztatikus hab + faládák (testreszabható) |
| Szállítási határidő: | Szállítási idő: 30-45 nappal a megrendelés visszaigazolása után |
| Fizetési feltételek: | T / T |
| Supply Ability: | 100 egység/hónap |
Leírás
A szilícium-karbid kerámia ostyahajó egy nagy teljesítményű hordozóeszköz, amelyet félvezetőgyártáshoz és fotovoltaikus energiafeldolgozáshoz terveztek. Nagy tisztaságú szilícium-karbid (SiC) kerámia anyagból készül, amelyet fejlett, nyomás nélküli szinterelési eljárással állítanak elő. Kiváló magas hőmérsékleti ellenállással, kémiai stabilitással és mechanikai szilárdsággal rendelkezik, és a ostyaátvitel, a magas hőmérsékletű lágyítás és más precíziós folyamatok alapvető fogyóeszközeként szolgál.
1. Stabilitás extrém környezetben
A szicílium kerámiák molekuláris szerkezete rendkívül magas hőstabilitást biztosít, amely lehetővé teszi szerkezeti integritásának megőrzését 1650 °C folyamatos magas hőmérsékleten. A hagyományos kvarc vagy alumínium-oxid anyagokhoz képest a szicílium-csónakok hőtágulási együtthatója nagyon alacsony (mindössze 4.5 × 10-6/°C), hatékonyan elkerülve a hirtelen hőmérsékletváltozások okozta deformációt vagy repedést. A félvezetőgyártásban ez a tulajdonság jelentősen csökkentheti a lapka elmozdulási eltérését a magas hőmérsékletű folyamatban, és javíthatja a hozamot.
2. Páratlan korrózióállóság
A szilícium-karbid kerámiák erős ellenállást mutatnak az erős savakkal (például hidrogén-fluoriddal, kénsavval), erős bázisokkal és oxidáló gázokkal (Cl₂, O₂) szemben. Még kén- vagy halogénatmoszférában, 1400°C-on is a felület sima és korróziómentes marad, biztosítva, hogy a lapka felületén ne maradjon szennyeződés.
3. Hosszú élettartam és gazdasági előnyök
Az egyedülálló felületi tömörítési eljárásnak köszönhetően a szilícium-karbid csónak kopásállósága több mint 15-ször nagyobb, mint a hagyományos anyagoké. A tényleges teszt azt mutatja, hogy 1000 ciklus után 1400°C-os oxidációs atmoszférában a felületi érdesség még mindig alacsonyabb, mint 0.2 μm Ra, és az átfutási idők elérhetik az 5-8-szorosát a hagyományos kerámia csónakokénak, ami jelentősen csökkenti a berendezések leállításának és cseréjének gyakoriságát, és az átfogó költségmegtakarítás meghaladja a 30%-ot.
Gyors részletek:
1. Egyéb nevek: szilícium-karbid kristályhajó, félvezető kerámia hordozó.
2. Alkalmazás: Magas hőmérsékletű diffúziós, oxidációs és lágyítási folyamatokban használják félvezetőgyártásban szilícium ostya hordozására és az egyenletes hőeloszlás biztosítására.
3. Alapparaméterek: tisztaság ≥99.99%, maximális hőmérséklet-tűrés 1500 ℃, alacsony hőtágulási együttható (4.5 × 10-6 / ℃), erős hősokk-állóság.
SPECIFIKÁCIÓK
| A szinterezett szilícium-karbid fizikai tulajdonságai | |
| Ingatlanok | Tipikus érték |
| Kémiai összetétel | SiC>98% |
| Testsűrűség | >3.07 g/cm³ |
| Látszólagos porozitás Látszólagos porozitás | |
| Szakadási modulus 20 ℃-on | 270 MPa |
| Szakadási modulus 1200 ℃-on | 290 MPa |
| Keménység 20 ℃-on | 2400 XNUMX Kg/mm² |
| 20%-os törési szilárdság | 3.3 MPa · m1/2 |
| Hővezető képesség 1200 ℃-on | 45 W/m·K |
| Hőtágulás 20-1200 ℃ között | 4.5 × 10-6/℃ |
| Max. üzemi hőmérséklet | 1400 ℃ |
| Hőütésállóság 1200 ℃-on | Jó |
| Az átkristályosított szilícium-karbid fizikai tulajdonságai | |
| Ingatlanok | Tipikus érték |
| Üzemi hőmérséklet (°C) | 1600°C (oxigénnel), 1700°C (redukáló környezetben) |
| SiC tartalom | > 99.96% |
| Ingyenes Si-tartalom | <0.1% |
| Testsűrűség | 2.60-2.70 g/cm³3 |
| Látszólagos porozitás | <16% |
| Nyomószilárdság | > 600 MPa |
| Hideg hajlítószilárdság | 80-90 MPa (20°C) |
| Meleg hajlítószilárdság | 90-100 MPa (1400°C) |
| Hőtágulás 1500°C-on | 4.7x10-6/° C |
| Hővezető képesség 1200°C-on | 23 W/m·K |
| Rugalmassági modulus | 240 GPa |
| Termikus ütésállóság | Rendkívül jó |
Alkalmazási területek
Félvezető ostyák magas hőmérsékletű hőkezelése (oxidáció, lágyítás, adalékolás).
Fotovoltaikus ipari ostyabevonatolás és szinterezés.
Versenyelőny
Rendkívül magas hőmérsékleti stabilitás: hosszú távú ellenállás 1500°C magas hőmérséklettel, deformáció vagy teljesítménycsökkenés nélkül.
Alacsony szennyezésű kialakítás: nagy tisztaságú anyag + nem ragasztó eljárás, elkerüli a fémion-szennyezést.
Hosszú élettartam: kiváló hősokk-állóság, 3-5-ször hosszabb élettartam, mint a kvarc hordozóknál.
Rugalmas testreszabás: tartóméret, réstávolság, felületkezelés mélységének testreszabása.
