EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Pirolitikus szénbevonatú grafitgyűrű
A Semixlab pirolitikus szénbevonatú grafitgyűrűit magas hőmérsékletű félvezető epitaxiális környezetekhez tervezték, ahol a hőstabilitás, a tisztaságszabályozás és a folyamat konzisztenciája kritikus fontosságú. A nagy tisztaságú grafit hordozókon lévő sűrű pirolitikus szénbevonattal tervezett alkatrészek kiváló kémiai ellenállást, alacsony részecskeképződést és kiváló hőegyenletességet biztosítanak a szeletek feldolgozása során. Lépjen kapcsolatba a Semixlabbal még ma, hogy felfedezze a félvezető epitaxiális alkalmazásaihoz szükséges, testreszabott pirolitikus szénbevonatú grafitmegoldásokat.
Leírás
Az itt látható grafitgyűrűt szilícium-karbid kristálynövesztő berendezésekben használják. Általában a kemence belsejében a hőtér körül helyezik el, és a kristálynövekedési folyamat során más grafit alkatrészekkel együttműködve működik.
Ezt a gyűrűtípust gyakran használják PVT növekedési rendszerekben, ahol a kemence hőmérséklete hosszú ideig rendkívül magas marad. Az üzemi környezet miatt a felhasználók általában bizonyos számú futtatás után cserélik a gyűrűt, ahelyett, hogy állandó használatban tartanák.
Az alapanyag megmunkált grafit PyC felületi réteggel. A kezeletlen grafittal összehasonlítva a bevont felület stabilabb magas hőmérsékletű működés közben, és kisebb valószínűséggel bocsát ki részecskéket a kamrában.
A gyakorlati termelésben sok vásárló ismételten megvásárolja ezeket a gyűrűket a rutinszerű kemencekarbantartás és a gyártástervezés részeként.
Termék jellemzők
PyC felületi réteg
A grafit felületére pirolitikus szénbevonatot visznek fel a magas hőmérsékleti körülmények közötti stabilitás javítása érdekében.
SiC kristálynövesztéshez
Főként szilícium-karbid kristálynövesztő kemencékben és kapcsolódó hőtér-rendszerekben használják.
Stabil felületi állapot
A bevonat segít tisztább munkafelületet fenntartani hosszú fűtési ciklusok alatt.
Ismételt kötegelt gyártás
Ugyanazok a specifikációk folyamatosan szállíthatók a több kemencét üzemeltető ügyfelek számára.
Rajzok szerinti megmunkálás
A méret és a szerkezet a különböző kemencekialakításoknak megfelelően állítható.
Termelés és Szállítás
A különböző kemenceszerkezetek eltérő grafitkonfigurációkat igényelnek, ezért a legtöbb gyűrűt a vevői rajzok vagy a meglévő minták alapján gyártják.
A gyártás során a méreteket és a bevonat vastagságát a szállítás előtt ellenőrzik. A folyamatos gyártásban nagy mennyiségben dolgozó ügyfelek számára a tételek közötti stabil ismételhetőség általában az egyik fő szempont.
Vannak felhasználók, akik csak néhány darabot rendelnek tesztelésre, míg mások rendszeresen nagyobb mennyiségeket vásárolnak hosszú távú termelési felhasználásra.
Semixlab
A Semixlab grafitot és bevonatos grafittermékeket szállít félvezető- és kristálynövesztőiparban való használatra. A termékek az alkalmazási követelmények, a kemence szerkezete és az ügyfél specifikációi szerint gyárthatók.
SPECIFIKÁCIÓK
Technikai információk
| Pirolitikus szén (PyC) bevonat paramétere | ||
| Tétel | Egység | érték |
| Kristályos szerkezet | Hatszögletű | |
| Alignment | Orientált vagy nem orientált a 001 irány mentén | |
| Testsűrűség | g / cm3 | ~ 2.25 |
| Mikrostruktúra | Polikristályos/többrétegű grafén | |
| Keménység | GPa | 1.2 |
| Rugalmassági modulus | GPa | 11 |
| Tipikus vastagság | um | 30±5 um |
| Felületi érdesség | um | 1.5 |
| A termék tisztasága | ppm | ≤5ppm |
Alkalmazási területek
-Szilícium-karbid kristálynövekedés
-PVT kemencerendszerek
-Hőtér grafit szerelvények
-Magas hőmérsékletű kemence alkatrészek
-Grafit fogyóeszközök
Szolgáltatásaink
Semixlab termékbolt
