Tömör SiC élgyűrű

Főbb teljesítményjellemzők

A Semixlab Bulk SiC Edge Ring-et úgy tervezték, hogy megfeleljen a következő generációs félvezetőgyártás szigorú követelményeinek. A következő teljesítményjellemzők teszik előnyös választássá a fejlett gyárak plazma maratókamráihoz:

● Kiváló plazmabombázás-állóság

A nagy tisztaságú, tömör szilícium-karbidból készült élgyűrű kivételes ellenálló képességet mutat a nagy sűrűségű plazmával szemben, minimális kopást és hosszabb alkatrész-élettartamot biztosítva intenzív ionbombázás alatt.

● Kiváló gázkorrózióállóság

A SiC anyag magas kémiai inertséggel rendelkezik, hatékonyan ellenáll a korrozív maró gázoknak, például a Cl₂-nek, CF₄-nek és SF₆-nek felületi degradáció nélkül, még magas hőmérsékletű környezetben is.

● Kiemelkedő hősokk- és hőfeszültség-állóság

120-150 W/m·K hővezető képességével és alacsony hőtágulási együtthatójával (~4.5×10⁻⁶ /K) a szilárd SiC szerkezet a gyors hőciklusok során is megőrzi méretstabilitását és mechanikai integritását.

● Sima felület, részecskementes működés

A fejlett felületkezelési technikák alacsony felületi érdességet (Ra ≤ 0.2 µm) biztosítanak, minimalizálva a részecskeképződést és leegyszerűsítve a kamra tisztítási folyamatait, ami csökkenti az állásidőt.

● Nincs vetemedés vagy deformáció az idő múlásával

A hagyományos kompozit élgyűrűkkel ellentétben, monolitikus SiC kialakításunk a hosszabb folyamatciklusok során is sík és méretstabil marad, megbízható teljesítményt nyújtva hosszú élettartamon keresztül.

Miért válassza a Semixlab SiC élgyűrűket?

A Semixlabbal kiváló minőséget szállítunk, szakértelmünk és innovációnk támogatásával. Íme, miért emelkednek ki a Semixlab SiC élgyűrűi:

● Egyedi megoldások

Teljes testreszabást kínálunk az Ön folyamatspecifikációi alapján, beleértve a belső/külső átmérőket, a vastagságot és a speciális felületi bevonatokat vagy textúrákat, biztosítva a tökéletes illeszkedést és az optimális teljesítményt a maratókamrában.

● Átfogó típusválaszték

A Semixlab különféle marószerszám-platformokat támogat, beleértve a TEL, Lam, AMAT és az egyedi OEM rendszereket, mind standard, mind szerszámspecifikus élgyűrűkkel, hogy megfeleljen a különféle folyamatigényeknek.

● Stabil minőség, gyors szállítás

ISO tanúsítvánnyal rendelkező gyártással, szigorú minőségellenőrzéssel és korszerűsített ellátási lánccal biztosítjuk az alkatrészek állandó teljesítményét, a rövid átfutási időket és a pontos szállítást, hogy a termelés késedelem nélkül haladjon.

A szilárd SiC fő fizikai tulajdonságai

Alkalmazás a félvezetőgyártásban

A tömör SiC élgyűrű alapvető fontosságú eleme a szilíciumlapka plazmamaratási folyamatának, ahol védő és szerkezeti interfészként szolgál a lapka és a kamra hardvere között. A lapka széle körül elhelyezve ez az alkatrész biztosítja a folyamat stabilitását, védi az elektrosztatikus tokmányt (ESC), és csökkenti a szennyeződés kockázatát a részecskék felhalmozódásának megakadályozásával. Különösen értékes nagy pontosságú szárazmaratás és RIE (reaktív ionmaratás) környezetben, ahol a folyamat ismételhetősége, a kamra védelme és a hosszú távú megbízhatóság kritikus fontosságú.