EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
SiC bevonatú grafit fűtőtest MOCVD-hez
A Semixlab SiC bevonatú grafit MOCVD fűtőberendezés egy nagy teljesítményű fűtőhordozó, amelyet félvezetőgyártási folyamatokhoz terveztek, és amely kémiai gőzfázisú leválasztást (CVD) alkalmaz egy egyenletes, sűrű szilícium-karbid (SiC) bevonat kialakítására egy ultra-nagy tisztaságú grafit hordozó felületén.
Leírás
Termékek Részletek
A SiC bevonatú grafit MOCVD fűtőberendezés ötvözi a grafit kiváló hővezető képességét a SiC bevonatok magas hőmérséklet- és korrózióállóságával, és széles körben használják fémorganikus kémiai gőzfázisú leválasztási (MOCVD) berendezésekben a stabilitás és a nagy tisztaság biztosítása érdekében az ostya epitaxiális növekedési folyamatokban.
SiC bevonatú grafit MOCVD fűtőberendezés termékjellemzői
1. Rendkívül nagy tisztaság és kémiai stabilitás
Tisztaság ≥99.99995%: Grafitfűtőnket magas hőmérsékletű klórozással, CVD-eljárással állítjuk elő, amely hatékonyan elkerüli a fémszennyeződéseket, és megfelel a félvezetőgyártás ultratiszta környezet iránti igényének.
Kémiai korrózióvédelem: A SiC bevonat sűrű és nagy keménysége (Vickers-keménység 2500-2800) ellenáll a savak, lúgok, sók és szerves oldószerek eróziójának, ami meghosszabbítja a berendezés élettartamát a korrozív gázkörnyezetben.
2. Kiváló magas hőmérséklet-állóság
Magas hőmérsékleti stabilitás: inert atmoszférában akár 3000°C-ig is ellenáll, vákuumkörnyezetben akár 2200°C-ig stabilan működik, oxidáló környezetben pedig 1600-1700°C-ig, ami alkalmas az MOCVD reakciókamra szélsőséges körülményeihez.
Alacsony hőtágulási együttható (4.5 x 10⁶K⁹): Az MOCVD grafitfűtő ezen tulajdonsága hatékonyan csökkenti a bevonat hőmérséklet-változások miatti repedését vagy lepattogzását, biztosítva a szerkezeti integritást hosszú távú hőciklusok alatt.
3. Optimalizált hőkezelési teljesítmény
Magas hővezető képesség (200-300 W/mK): A grafit MOCVD fűtőberendezés magas hővezető képessége biztosítja, hogy a termék gyorsan és egyenletesen tudja átadni a hőt, így biztosítva az ostya felületének egyenletes hőmérséklet-eloszlását (±1°C), ezáltal hatékonyan javítva az epitaxiális réteg egyenletességét.
Lamináris gázáramlási tér kialakítása: A folyamatos technológiai iteráció és frissítés után MOCVD fűtőberendezésünk felületi simasága (Ra ≤ 0.8 μm) és geometriai optimalizálása biztosítja a reaktív gázok egyenletes eloszlását és csökkenti a turbulencia okozta lerakódási egyenetlenségeket.
SPECIFIKÁCIÓK
Műszaki paraméterek összehasonlítása és előnyei
| jellemzők | Semixlab SiC bevonatú fűtőberendezések | Hagyományos grafitfűtők |
| Maximális üzemi hőmérséklet (inert) | 3000 ° C | 2500 ° C |
| Kémiai tisztaság | ≥ 99.99995% | ≤ 99.99 |
| Hővezető | 300 W / mK | 120-150 W/mK |
| A bevonat tapadása | 415 MPa (4 pontos hajlítás) | 100-200 MPa |
| Tipikus élettartam (ciklusok) | > 500 ciklus | 100-200 ciklus |
Versenyelőny
Miért a Semixlab?
Testreszabás: A Semixlab elkötelezett amellett, hogy testreszabott termékeket és műszaki szolgáltatásokat nyújtson ügyfeleinek. Támogatjuk a nem szabványos méretek (akár 360 mm átmérőig) és bevonatvastagságok (20-500 μm) testreszabását, hogy a berendezések széles skálájának igényeit kielégítsük.
Globális tanúsítás: SiC bevonatú grafitfűtőnk SEMI-kompatibilis, ISO 9001 tanúsítvánnyal rendelkezik, termékeinket főként Európába és az Egyesült Államokba, valamint Japánba és Dél-Koreába exportáljuk, jelentős ár/teljesítmény előnnyel.
Műszaki szinergia: A Semixlab régóta szoros együttműködést ápol Kína vezető kutatóintézeteivel, szabadalmaztatott bevonási technológiákat (például a CGT Carbon SiC³ eljárását) alkalmazva a bevonat sűrűségének és a hősokk-állóság optimalizálására.
