EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Félvezető kvarcfürdő
Gyors részletek:
1. Egyéb nevek: Félvezető kvarc tartály, kvarcfürdő félvezetőhöz, kvarc tartály félvezetőhöz.
2. Alkalmazás: A félvezető kvarcfürdő egy nagy tisztaságú, korrózióálló alkatrész, amelyet kifejezetten a félvezetőgyártás precíziós tisztításához és kémiai feldolgozásához terveztek. A WS-620C/WS-820C/WS-820L rendszerrel való kompatibilitásra tervezett kvarcfürdő magas hőmérsékleten (akár 175°C-ig) működik, és foszforsav (H₃PO₄) oldatokkal való használatra van optimalizálva, így kivételes teljesítményt biztosít a kritikus ostyatisztítási folyamatokban.
3. Alapvető paraméterek:
Olvasztott kvarc (>99.99% SiO₂).
Kivételes kémiai inert a H₃PO₄-vel (foszforsavval) szemben magas hőmérsékleten, megakadályozva a lebomlást vagy a részecskék képződését.
Ellenáll a folyamatos működésnek 160°C-on és 175°C-os csúcshőmérsékleten, miközben megőrzi szerkezeti integritását és méretstabilitását.
Leírás
A félvezető kvarcfürdő egy nagy tisztaságú, korrózióálló alkatrész, amelyet kifejezetten a félvezetőgyártás precíziós tisztításához és kémiai feldolgozásához terveztek. A WS-620C/WS-820C/WS-820L rendszerrel való kompatibilitásra tervezett kvarcfürdő magas hőmérsékleten (akár 175°C-ig) működik, és foszforsav (H₃PO₄) oldatokkal való használatra van optimalizálva, így kivételes teljesítményt biztosít a kritikus ostyatisztítási folyamatokban.
FŐBB JELLEMZŐK
Anyagi fölény
Nagy tisztaságú kvarc: Szintetikus olvasztott kvarcból (>99.99% SiO₂) készült, minimális szennyeződést és hősokkkal szembeni ellenállást biztosítva.
Savállóság
Kivételes kémiai inert a H₃PO₄-vel (foszforsavval) szemben magas hőmérsékleten, megakadályozva a lebomlást vagy a részecskék képződését.
Hőstabilitás
Ellenáll a folyamatos működésnek 160°C-on és 180°C-os csúcshőmérsékleten, miközben megőrzi szerkezeti integritását és méretstabilitását.
Teljesítményelőnyök
Szennyeződés-szabályozás: Az ultrasima felületkezelés minimalizálja a részecskék tapadását, ami kritikus fontosságú a szubmikronos félvezető csomópontok folyamatainál.
Hosszú élettartam: A kvarc savas korrózióval és hőfáradással szembeni ellenállása meghosszabbítja az élettartamot, csökkentve az állásidőt és a karbantartási költségeket.
Folyamatkonzisztencia: A stabil hővezető képesség biztosítja az egyenletes hőmérséklet-eloszlást, növelve a tisztítási hatékonyságot és az ismételhetőséget.
Miért válassza a Semixlab félvezető kvarcfürdőjét?
Félvezető minőségű: Tisztatéri környezetben készült, hogy megfeleljen a SEMI szabványoknak.
Testreszabott megoldások: Egyedi tervek állnak rendelkezésre, hogy megfeleljenek az adott folyamatkövetelményeknek.
Megbízhatóság: A szigorú minőségellenőrzés biztosítja a félvezető ipar követelményeinek való megfelelést.
SPECIFIKÁCIÓK
| Mechanikai tulajdonság | Sűrűség (g/cm³3) | 2.2 |
| Mohs keménysége | 6-7 | |
| Nyomószilárdság (MPa) | 1100 | |
| Szakítószilárdság (N/mm2) | 50 | |
| Hajlítószilárdság (N/mm2) | 65 | |
| Torziós szilárdság (N/mm2) | 30 | |
| Young-modulus (MPa) | 7.2x104 | |
| Poisson aránya | 0.16 | |
| Termikus tulajdonságok | Hőtágulási együttható (20~320℃,k-1) | 5.5x10-7 |
| Hővezető képesség (20℃, W·m-1k-1) | 1.4 | |
| Fajhő (20℃, J·kg-1k-1) | 670 | |
| Lágyuláspont (℃) | 1700 | |
| Lágyítási pont (℃) | 1180 | |
| Töréspont (℃) | 1080 | |
| Elektromos tulajdonság | Elektromos ellenállás (Ω·m) | 1x1016(20 ℃) |
| Dielektromos állandó (10 GHz) | 3.74 | |
| Dielektromos veszteség (10 GHz) | 0.0002 | |
| Átütési szilárdság (V·m-1) | 3.7x107 |
Alkalmazási területek
Ostya tisztítás: Fotoreziszt, maradványok és szennyeződések eltávolítása H₃PO₄-alapú oldatokból maratás vagy litográfia után.
Magas hőmérsékletű eljárások: Alkalmas fejlett félvezető-gyártási lépésekhez, amelyek agresszív kémiai reakciókat igényelnek magas hőmérsékleten.
Kompatibilitás: Ideális WS-620C/WS-820C/WS-820L rendszerekhez logikai, memória- vagy tápegységeket gyártó gyárakban.
