SiC kerámia

A SiC kerámiákat egyre gyakrabban használják félvezető berendezésekben, főként azért, mert jobban bírják a nehezebb körülményeket. Amikor a hőmérséklet magasra emelkedik, vagy a folyamat agresszívabbá válik, az olyan anyagok, mint a kvarc vagy a szilícium, elkezdhetnek határokat mutatni, és általában itt jön képbe a SiC. A kemencében végzett folyamatokban, például az oxidációban vagy a diffúzióban, a SiC-ből készült alkatrészek, mint például a lapátcsónakok vagy lapátok, általában tovább tartanak. Megtartják alakjukat, és nem szennyezik be őket sok anyaggal, még hosszú futásteljesítmény után sem. Az emberek gyakran emiatt váltanak át a kvarcról, különösen akkor, ha a karbantartás túl gyakorivá válik.

A maratáshoz a SiC-t gyakran egyszerűen azért választják, mert tovább bírja a plazmát. A szilícium alkatrészekhez képesti élettartambeli különbség számos összeállításban észrevehető, bár ez továbbra is a pontos folyamattól függ. Segít némileg a részecskeszabályozásban is, amely a csomópontok zsugorodásával érzékenyebbé válik. A SiC-t MOCVD vagy CVD eljárásokban is használják szuszceptorként. Ezekben az esetekben kevésbé a „szilárdságról” van szó, inkább a hőmérsékleti viselkedés stabil tartásáról. Ezen kívül kamraalkatrészekben, például bélésekben vagy zuhanyrózsákban, és néha a kezelőelemekben is megjelenik.